高能離子注入機是集成電路制造所必需的三種離子注入機機型之一，其研發難度堪稱離子注入機領域的“珠穆朗瑪峰”。電科裝備北京爍科中科信高能離子注入機黨員突擊隊從接到任務指令起，便進入緊張的倒計時階段，研發廠房日日燈火通明，全員發力確保按節點完成設備研發及交付重任。

　　與時間賽跑

　　由于設備對工藝要求極高，工藝驗證階段為攻克關鍵工藝難點，團隊成員一頭扎進厚厚的技術資料堆中，鍥而不舍地重復上機驗證。

　　一次次失敗，一遍遍驗證，他們用不到15天的時間成功攻克了束流調試算法這一關鍵工藝難點，實現了8000KeV的粒子加速能量，并順利實現其他各項工藝指標均達到對標機臺水平，為設備日后在產線的平穩運行提供了工藝保障。

　　同指標較量

　　指標復測是設備出廠前的一次全面的內部“健康體檢”，測試結果如何，決定了設備能否順利交付。

　　作為專業的“設備醫生”，突擊隊成員扎根廠房數月，日夜鏖戰，進行高強度攻關，做了幾十次實驗模擬，對設備的“體檢”數據進行細致地收集、整理及對比，深入檢驗設備各項運行指標，同時及時調整設備運行狀態。最終實現了在高能量下全流程自動流片，設備完全具備進入客戶端的要求。

　　“交付就是指令，指令所向，使命必達”是高能離子注入機黨員突擊隊的錚錚誓言，團隊成員必將永葆“干”的作風、“闖”的精神，緊緊擰成一股繩、盡顯其能，為按節點完成任務保駕護航。

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